需求解析

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技术研发指南

用于在纯铝加热器表面生成一层X微米以内的氟化铝,减少硅片上铝粒子的含量,确保工艺过程稳定,目前国内尚无稳定的供应商,都依靠客户自己的工艺机台来制作氟化铝,时间长,存在氟化成功率低的问题.

硅片上铝粒子的含量,确保工艺过程稳定。

铝表面氟化是指在铝材料表面形成氟化铝膜的过程。在这个过程中,氟离子与铝表面反应,形成致密的氟化铝层。这种氟化铝层具有很高的硬度和耐腐蚀性,可以有效地保护铝材料不受外界环境的侵蚀。

通过开发氮化铝专用机台,在厂内实现氢化处理,提升客户满意度,减少因氮化失败反复维修的等待时间。铝表面氟化是指在铝材料表面形成氟化铝膜的过程。在这个过程中,氟离子与铝表面反应,形成致密的氟化铝层。这种氟化铝层具有很高的硬度和耐腐蚀性,可以有效地保护铝材料不受外界环境的侵蚀。

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