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Nano-g级高精度MEMS加速度传感器及仪器
科技成果综合评价报告详情
科技成果综合评价报告
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成果名称
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分类
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所属单位
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联系人
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联系电话
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成果简介
本成果包括两个部分，分别为成熟度较高且经过应用验证的Nano-g级电容式MEMS加速度传感器及仪器，以及较为前沿的基于量子增强效应的Nano-g级光学微加速度传感器。 前者采用硅基微纳加工工艺，可实现批量的电容式高精度MEMS加速度传感器芯片，目前该项成果的相关技术指标属于在国际上并跑状态，并已经成果搭载长征五号B型火箭在我国新一代载人航天飞船试验船上进行过微重力环境测量应用，性能卓越，技术可靠，成熟度高。 后者采用量子精密传感相关技术，采用光学方案作为信号读出手段，有望突破标准量子极限噪声，实现更高精度和灵敏度的探测。目前相关技术指标在世界上处于领跑状态，技术先进，发展潜力大。
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创新水平
关键共性技术
前沿引领技术
现在工程技术
颠覆性技术
其他
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技术进度
新设备或新装置
样机原理
工程样机
中试原型机
产业化
新材料或新技术
实验室阶段
工程化阶段
产业化阶段
技术成果
专利
奖项
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产品方向
有多个应用方向
有一个应用方向
没有应用方向
无法判断
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市场空间
需求前景巨大
需求前景较大
需求前景一般
无法判断
*
成本竞争
优势明显
优势一般
没有优势
无法判断
*
政策影响
政策鼓励
政策限制
政策淘汰
无法判断
*
市场周期
进入期
成长期
饱和期
衰退期
无法判断
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转化周期
近期可控(1年内)
周期较长(2年内)
很难转化(3年起)
无法判断
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科技成果的创新基因评价
该科技成果领头人具有教授职称，已发表相关国际论文100余篇，获得省部级一等奖2项，属于高精尖人才；研发团队人数20余人，高级人员占比80%以上，经验丰富，分工明确。 该项成果属于创新设计，项目投入时间长，投入资金量大，项目已在我国载人航天飞船试验船得到应用，也即将应用于我国嫦娥七号月球探测任务。 该成果产品化商业化的材料采购成本与生产成本均可控，技术含量高，市场竞争性强。
不少于150字
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科技成果的技术亮点评价
该项成果结合量子传感的高灵敏度优势和先进微纳制造的小型化优势，实现小型化高精度加速度传感器及重力测量仪器，未来将打破国外技术垄断，对智能交通、能源开发和灾害预警等相关领域的市场竞争格局带来颠覆性变化。 该项成果最大的优势是能够在相对较低反射率下，实现较高品质因数，有助于降低器件制造的难度与成本；由MEMS工艺制造、封装，体积小，可批量化生产，能够满足更多应用场景需求。
不少于150字
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科技成果的应用市场评价
该成果的技术覆盖面广，可应用于惯性导航、地震监测、资源勘探、消费电子等。与国外相比，我国项目所涉及的电容式和量子增强型光学MEMS加速度传感器技术指标与国内外同类成果，其中，电容式MEMS加速度传感器与国际领先水平持平，处于并跑；量子增强型光学MEMS加速度传感器技术指标体系处于国际领先水平，属于领跑。项目成果于2020年5月搭载长征五号B遥一火箭成功发射并回收（微震仪返回后经复测正常），完成了我国新一代载人航天飞船试验船在轨微重力环境下的扰动加速度测量，任务执行期间成功监测到多个事件，包括货运飞船与载人飞船分离等。性能卓越，技术成熟度高。相应成果即将应用于我国嫦娥七号月球探测任务，未来将开展相关传感器和仪器的产业化推进。
不少于150字
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评价专家组综合意见
该成果由成熟度较高且经过应用验证的Nano-g级电容式MEMS加速度传感器及仪器，以及较为前沿的基于量子增强效应的Nano-g级光学微加速度传感器结合而成，对传统传感器有一定的引领性作用，技术创新性很强，且技术成熟，投资回报比较可靠，目标市场处于成长市场，但该市场很快会出现多种技术路线，产品竞争会很激烈。 总体而言，该项目技术思路方向很好，未来市场空间大，有利于当前政策要求，转化成熟度很高，值得支持推广。建议强化相应产品开发，加大产业链开发力度。
评价专家署名
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评价专家姓名
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评价专家联系方式
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评价专家职务
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评价专家所在单位
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