科创中国
碳化硅衬底缺陷检测设备
发布时间:
2025-01-06
截止日期:2025-04-06
价格 双方协商
地区： 山西省 太原市 山西转型综合改革示范区
需求方： 山西***公司
行业领域
计算机、通信和电子设备
需求背景
研发一款针对碳化硅衬底的缺陷检测设备
需解决的主要技术难题
可检测缺陷类型：微管Micropipe、堆垛层错Stacking Fault、颗粒物Particle、凹坑Pit、凸起Bump、划伤Scratch；缺陷检出率≥ 85%；缺陷定位精度±2.5μm；
期望实现的主要技术目标
可测衬底片尺寸4、6、8英寸；
检测效率≥ 7 WPH（6英寸）
处理进度
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提交需求2025-01-06 14:23:20
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确认需求2025-01-24 15:00:26
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需求服务
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需求签约
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需求完成
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