高质高产氮化铝基板烧结关键技术与装备研发
价格 700万
地区: 宁夏回族自治区 银川市 贺兰县
需求方: 宁夏***公司
行业领域
新材料技术,新材料产业
需求背景
1.全球氮化铝陶瓷基板产业市场潜力巨大,日美国家代表着国际上AlN陶瓷产业的最高水平,国内AlN产业水平处于快速追赶阶段,亟需缩小关键技术与装备的差距;
2.开展烧结过程中碳气氛干涉第二相迁移技术研究,避免第二相的表面集聚,解决对基板的表观质量和金属化过程的不良影响;
3.开展氮化铝烧结设备的烧结热区均匀性研究,提高产品质量的稳定性;解决烧结设备存在碳毡以及石墨加热器易被侵蚀氧化等问题;提高设备产能与效能。
需解决的主要技术难题
1.开展氮化铝液相烧结中碳气氛对液相迁移的影响机制与烧结炉漏率、石墨件腐蚀对氮化铝基板影响规律的研究;
2.系统研究炉体结构、炉膛温区控制、气氛控制、装料方式、烧舟结构等与烧结工艺之间的关系。
期望实现的主要技术目标
(一)产品指标
1.室温热导率≥175(W/m·K)
2.抗弯强度≥450MPa;
3.体积电阻率≥1013Ω·cm;
4.翘曲度≤2.5‰;
5.表面粗糙度≤0.5μm;
(二)装备指标
1.电力功耗:≤200KW;
2.最大升温速率(1500℃以下):10℃/min;
3.额定工作温度:1800℃;
4.最高使用温度:1900℃;
5.PLC控温精度:1℃;
6.高温使用炉压:10-125KPa;
7.炉体真空漏率:<1Pa/h;
8.1000度下测温,在380×380×1400mm的区间温度均匀性<±5℃;
9.烧结炉单炉产量>2000片;
10.设备连续稳定运行时间>30天。
预计可实现单炉产量达到2000片以上,氮化铝基板即烧产品合格率显著提升,产能提高30%,新增产值1000万元。
处理进度