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高质高产氮化铝基板烧结关键技术与装备研发

发布时间: 2023-03-17
来源: 试点城市(园区)
截止日期:2023-03-31

价格 700万

地区: 宁夏回族自治区 银川市 贺兰县

需求方: 宁夏***公司

行业领域

新材料技术,新材料产业

需求背景

1.全球氮化铝陶瓷基板产业市场潜力巨大,日美国家代表着国际上AlN陶瓷产业的最高水平,国内AlN产业水平处于快速追赶阶段,亟需缩小关键技术与装备的差距;

2.开展烧结过程中碳气氛干涉第二相迁移技术研究,避免第二相的表面集聚,解决对基板的表观质量和金属化过程的不良影响;

       3.开展氮化铝烧结设备的烧结热区均匀性研究,提高产品质量的稳定性;解决烧结设备存在碳毡以及石墨加热器易被侵蚀氧化等问题;提高设备产能与效能。

需解决的主要技术难题

1.开展氮化铝液相烧结中碳气氛对液相迁移的影响机制与烧结炉漏率、石墨件腐蚀对氮化铝基板影响规律的研究;

       2.系统研究炉体结构、炉膛温区控制、气氛控制、装料方式、烧舟结构等与烧结工艺之间的关系。

期望实现的主要技术目标

(一)产品指标

1.室温热导率175(W/m·K)

2.抗弯强度450MPa;

3.体积电阻率1013Ω·cm;

4.翘曲度2.5‰;

5.表面粗糙度0.5μm

(二)装备指标

1.电力功耗:200KW

2.最大升温速率1500以下):10/min

3.额定工作温度:1800℃;

4.最高使用温度:1900℃;

5.PLC控温精度:1℃;

6.高温使用炉压:10-125KPa

7.炉体真空漏率:1Pa/h

8.1000度下测温,在380×380×1400mm的区间温度均匀性±5

9.烧结炉单炉产量2000片;

10.设备连续稳定运行时间30天。

预计可实现单炉产量达到2000片以上,氮化铝基板即烧产品合格率显著提升,产能提高30%新增产值1000万元

处理进度

  1. 提交需求
    2023-03-17 17:31:21
  2. 确认需求
    2023-03-23 13:18:23
  3. 需求服务
  4. 需求签约
  5. 需求完成