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稀土永磁材料表面镀膜配套靶材低成本制作与高值化利用技术

发布时间: 2021-08-25
来源: 科技服务团

预算 200万

基本信息

行业分类: 石化与新材料

地区: 内蒙古自治区 包头市

需求方: 北方**

需求背景

    稀土是重要的战略资源,也是不可再生资源。发挥稀土应用功能的战略价值是我国十四五期间稀土行业整体发展重点。自治区在制定国民经济和社会发展十四五规划和2035年远景目标中明确提出要保护性开发利用稀土资源,高值化应用稀土元素,高端化开发稀土产品。稀土永磁材料作为深加工应用发展最为成熟的功能材料之一,是稀土高值利用突破的重点。近年来真空镀膜技术应用于磁体表面防护和晶界扩散,可以显著提升磁体耐蚀性和耐温性,满足磁体高精尖应用领域发展需求,呈现出极强的产业发展动力,有望成为支撑稀土永磁材料产业转型升级的关键技术。然而目前磁体表面镀膜用靶材,特别是晶界扩散制备高性能钕铁硼用DyTb重稀土靶材存在制造成本偏高,利用率低,镀膜过程中重稀土粒子旁落率高,有效沉积速率低等问题,与稀土高值化利用背道而驰。

需解决的主要技术难题

1、开发磁体表面真空镀膜用重稀土靶材、AlMn-RE靶材成分设计及低成本加工技术,降低靶材加工制造成本对磁体生产成本的影响。

2、开发靶材镀膜应用装备模块化、工程化设计,提升靶材表面刻蚀区域,提高靶材利用率。

3、控制真空镀膜过程中重稀土离化粒子运动轨迹,降低无效区域沉积,减少重稀土靶材使用量,实现重稀土资源高值化利用。

拟实现的主要技术目标/具体指标

重稀土靶材高值化利用达到以下指标要求:

(1)Dy离化率>70%;(2)Tb离化率>70%;(3)靶材利用率>85%;(4)重稀土涂层沉积速率≥30µm/h。

磁体表面防护用AlMn-RE靶材达到以下技术要求:

1)通过靶材成分设计,AlMn-RE高强耐蚀涂层所需Mn含量低于15at%,靶材可车铣加工;(2)靶材相对密度≥95%;(3)靶材晶粒尺寸<100μm;(4)靶材纯度99. 5%以上,检测元素:Mg Si K Na Ca Fe Ni Cu Ta C N O

处理进度

  1. 提交需求
    2021-08-25 10:03:38
  2. 确认需求
  3. 需求服务
    2021-08-25 10:19:45
  4. 需求签约
  5. 需求完成