基于量子隧穿效应的超灵敏微位移传感器

针对超精密机床、AFM等对纳米级位移测量的需求，本项目研发了基于量子隧穿效应的超灵敏微位移传感器。核心突破在于：利用真空隧道结和超精密压电执行器；实现了位移测量分辨率优于10皮米级，且具备极宽的动态响应范围。

极高分辨率：位移分辨率达到皮米级，满足原子级操作和超精密测量。超灵敏度：对微小位移变化具有极高的灵敏度。宽动态范围：能够在纳米至微米级的大范围内保持高精度测量。无机械接触：采用量子隧穿原理，测量过程无机械接触，无磨损、无滞后。

团队来自于“量子传感与精密测量实验室”，专注于量子效应传感器、超精密测量和纳米定位技术。团队负责人郭峰研究员，在量子物理应用和精密测量方面有深厚积累。