科创中国
超精密快抛减薄装备
发布时间: 2025-10-27
基本信息
合作方式：
技术许可
成果类型：
新技术
行业领域：
高端装备制造产业
成果介绍
适用集成电路、消费电子、国防军工等高科技领域所涉及的中小口径平面光学元件。
该团队依托先进超精密制造技术，针对当前平面元件超精密抛光加工工艺对高精度、高刚度和稳定性的要求，研制了超精密快抛减薄设备，解决了平面元件超精密快速抛光技术需求，可实现中小口径光学元件的高精度、高效率抛光加工，整机采用全气体静压轴系。
成果亮点
整机采用自主知识产权全气体静压轴系包括气体静压导轨和转台，其中气体静压转台轴径向跳动≤0.5um，直线度≤0.5um/400m，无摩擦，极低振动。
团队介绍
湖北工业大学机械工程学院：张楚鹏。
西安交通大学工学博士。主要从事精密超精密加工和测量相关技术与装备研究，主持和参与了多项纵向、横向课题，第一作者发表论文十余篇，为多家研究所、重点企业提供技术服务和装备产品。
湖北工业大学机械工程学院：陈肖
湖北工业大学机械工程学院教授。2014年6在华中科技大学材料科学与工程专业获工学博士学位。主要研究方向为硬脆光学元件场辅助超精密智能制造。主持国家自然科学基金青年项目、国防科工局某专项目子课题、国防基础科研计划项目课题、博士后基金面上项目，作为技术骨干参与工信部高质量发展专项、科技部重点研发计划、国家自然科学基金仪器/面上/重点项目、“十三五”装备预研共用技术项目等。发表SCI学术论文30余篇，获授权发明专利10余项。获2021年度中国商业联合会科学技术奖特等奖，专利授权应用项目获科技部首届颠覆性技术创新大赛总决赛优胜奖。多次担任国家自然科学基金面上、青年项目通讯评议人，以及***、***等国际知名学术期刊和国际会议的审稿人。
成果资料
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