热阴极超高真空计

围绕“中国制造 2025”提出的加强计量科技基础前沿研究，提升与制造业相关的国家量传溯源能力，构建国家计量科技创新体系，瞄准量子科学、纳米材料、加速器等国内先进真空装备对高端真空测量技术的发展需求，通过重点解决 fA 级别下的离子流稳定采集、ESD 效应限制、材料热出气等关键技术，成功研制了宽量程高精度热阴极超高真空计产品。

实现了 2×10-2 ～ 2×10-9Pa 范围内的真空度精确测量，打破发达国家的技术垄断，填补了国内同类产品的市场空白，其主要性能指标达到了国际先进水平。