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3.2米箱式真空镀膜机通过出厂验收

发布时间: 01月14日 发布来源:中国科学报

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       作者:沈春蕾

       日前,中科院南京天文光学技术研究所(以下简称南京天光所)委托研制的3.2米箱式真空镀膜机通过出厂验收。

       近年来,南京天光所镀膜团队开展了提高膜系光谱反射率、膜系环境适应性和膜系用途多样性等方面的研究,掌握多项关键技术,如紫外增强型宽谱段高反射膜系制备、碳化硅材料基底表面改性层制备、极寒环境大口径镜面防霜膜系制备、高精度天文滤光膜系制备等,并将技术应用于多个在研项目,取得了较好的效果。

       基于国内大型天文观测设备发展需求,南京天光所在2021年初正式启动研制3.2米箱式真空镀膜机。

       据悉,3.2米箱式真空镀膜机最大可以为直径2.6米的大型光学镜片提供各类光学膜系制备,包括金属反射膜、增强型金属反射膜、多层介质膜以及碳化硅反射镜改性层,是目前华东地区口径最大的多功能镀膜设备。3.2米箱式真空镀膜机针对大型光学镜面的镀膜工艺需求采用了多项新技术、新结构,膜系质量有保障,安全措施也得到了加强。

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