单晶金刚石第四代半导体衬底及其装备研制
价格 双方协商
地区: 湖南省 衡阳市 耒阳市
需求方: 湖南***公司
行业领域
新材料技术
需求背景
为全面落实“三高四新”战略定位和使命任务,按照省委省政府有关决策部署,进一步加强前沿性、引领性和关键共性技术攻关,提升科技创新支撑引领作用。研发新一代人工智能共性关键技术以服务湖南中小企业发展科技创新。
需解决的主要技术难题
1、研究单晶金刚石第四代半导体及先进微电子材料制备工艺、单晶生长 CVD 装备、器件制造及应用,
2、突破材料、工艺、装备、应用等产业链关键技术,
3、在国内率先打通“第四代半导体”产业化路径,并初步形成产业化能力。
期望实现的主要技术目标
1、制备高质量 4 英寸金刚石晶圆;
2、制成具有超高能带隙(5.4 eV)、击穿电场(10 MV cm-1 )和热导率( 22 Wcm-1 K-1)的单晶金刚石器件;
3、实现单晶金刚石器件中全局 5%以上最大接近 10%的弹性应变控制;
4、实现金刚石的电子能带隙的深层次调控(约 1-2eV)。
需求解析
解析单位:湖南省衡阳市 解析时间:2023-05-16
段斌
衡阳市科学技术协会
部长
综合评价
处理进度