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直径600mm大尺寸蓝宝石晶体生长关键设备设计及长晶控制技术开发

发布时间: 2022-12-23

来源: 试点城市(园区)

基本信息

合作方式: 合作开发
成果类型: 发明专利,实用新型专利
行业领域:
新材料技术,新材料产业,制造业,大尺寸,蓝宝石晶体,长晶控制技术
成果介绍
本项目是以公司现有大尺寸蓝宝石晶体制造技术为基础,以突破直径超过600mm的大尺寸蓝宝石晶体生长关键技术难题为目标,通过与浙江大学机械工程学院、天通吉成机器技术有限公司合作,对项目产品用核心长晶热场及热场结构、长晶炉炉体结构、电气智能控制系统、称重控制系统等方面进行创新,实现长晶设备的软、硬件相互协作、融合,使设备及其控制系统匹配大尺寸晶体生长工艺,重点研究设计制造适合直径600mm的蓝宝石晶体生长新型设备、开发新型长晶炉自动化控制系统、设计可匹配长晶炉及其控制系统的保温晶体品质控制技术等,最终实现国内乃至全球规格最大的直径为 600mm、重量为650kg的蓝宝石晶体产出,该项目产品是应用于新一代显示技术(Micro-LED技术)的战略基础材料。
成果亮点
本项目采用的改良泡生法是目前唯一能够生长大尺寸、高质量的蓝宝石晶体生长方法。另外,C向泡生法长晶能够最大限度的加工最大尺寸的蓝宝石晶片,属于全球首家。本项目稳定产出的直径600mm以上蓝宝石晶片,是目前全球范围内唯一报道过的最大尺寸的蓝宝石晶片。该产品也已通过各项物理、化学、机械性能的评价测试,满足红外窗口领域的应用要求。
团队介绍
本项目成果研究开发是由天通银厦新材料有限公司主导,联合天通吉成机器技术有限公司和浙江大学共同组成的项目团队完成的。天通银厦拥有一支专业大尺寸蓝宝石晶体研制的专业技术团队,在技术创新带头人的带领下,以400kg级以上蓝宝石晶体、100kg级以上激光钛宝石晶体生长关键技术突破及产业化应用以及6-8英寸超大尺寸蓝宝石衬底的精密加工关键技术突破及产业化为主要研发方向,不断提升产品品质,以市场为导向,进一步拓展蓝宝石应用范围,实现更高的经济效益。天通吉成一直致力于做国内高端智能专用装备,拥有一支蓝宝石晶体专用生长炉设计开发团队。浙江大学机械工程学院具有丰富的自动化控制技术和智能制造相关的设计研发和人才团队,共同成功完成本项目成果的研发。
成果资料